ازن ژنراتور از طریق تجزیه مولکولهای اکسیژن فرایند تصفیه را به روشهای زیر انجام میدهد
تخلیه کرونا خاموش : تمام تخلیه های الکتریکی مانند رعد و برق تولید ازن مینمایند که این فرایند در ازن ژنراتور انجام میپذیرد.
اشعه ماورا بنفش : این فرایند شبیه تشکیل ازن در اتمسفر فوقانی است جایی که اشعه به اتم های اکسیژن تبدیل میشود